NX520 с 2 звеньями, жесткой структурой с двойным плечом, которая может легко достигать ступеней вафли с высокопроизводительным пространством в 200 вафелей в час (WPH) от FOUP до выравнивателя, а затем на сцену с двойным манипулятором, соответствует стандартам ISO Class 1, стандартная система SEMI-F47 для немедленного решения проблемы падения напряжения и перезапуска автоматической системы при восстановлении напряжения, стандартная защита окружающей среды SEMI-S2, личная безопасность, система противодействия столкновениям.
Контроллер D
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный Ethernet-порт связи, компактную площадь, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, унифицированные сервоусилители для всех осей, стандарты для окружающей среды , здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Спецификация контроллера D60
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: максимум 7 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: максимум 16 каналов.
- Выходной сигнал: максимум 8 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: Максимум 12 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: Максимум 96 каналов
- Выходной сигнал: максимум 80 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
Количество осей: 5
Класс ISO 1
Ссылка: 2
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Класс ISO 1
Ссылка: 2
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Диапазон движения (°)
| ось θ (вращение JT2) |
330 ° |
| 440 мм | |
| Ось Z (вверх JT3) |
832 мм |
| 336 ° | |
| Ось X (вход / выход JT4) |
|
| Ось W - нижняя (вращение JT6) |
336 ° |
| W - верхняя (вращение JT7) |
Приложения для роботов
Чистая комната
